美高梅官网正网|摩纳哥vs矿工|中国EUV光刻机呼之欲出！中科院上海光机所林楠团
发布时间：
2025-08-02
在半导体产业这一全球科技博弈的“心脏地带”◈★，中国再次传来振奋人心的消息◈★！近日半导体光学◈★，中国科学院上海光学精密机械研究所（以下简称“上海光机所”）林楠研究员团队在《中国激光》期刊发表重磅研究成果◈★，宣布成功突破极紫外（EUV）光刻机最核心的“光源技术”瓶颈◈★。结合国内在双工件台◈★、光学系统等关键领域的连续突破◈★，中国首台完全自主知识产权的EUV光刻机应该已进入“最后一公里”冲刺阶段◈★。这一里程碑式的进展◈★，标志着美国试图通过技术封锁遏制中国半导体产业发展的战略◈★，遭遇重大挫败◈★。
作为制造5纳米以下高端芯片的唯一工具◈★，EUV光刻机被誉为“人类工业文明巅峰之作”◈★。其13.5纳米的极紫外光源需以20千瓦激光精准轰击液态锡靶◈★，产生等离子体并收集辐射◈★，技术难度堪称“在飓风中穿针引线”◈★。目前◈★，全球仅荷兰ASML公司掌握量产能力◈★，且其设备包含超过10万个精密部件◈★，涉及美美高梅澳门娱乐app◈★，◈★、德◈★、日等国的尖端技术◈★。正是这种高度垄断◈★，使得美国能通过《瓦森纳协定》◈★，长期阻挠中国获取EUV设备◈★。
林楠团队创新性提出“多层环形增益介质”设计◈★，攻克了传统CO₂激光器功率与光束质量难以兼得的世纪难题◈★。实验显示◈★，其研发的准分子激光系统在50kHz重复频率下◈★，脉冲能量稳定性达到0.3%的国际领先水平◈★，远超ASML现役设备1.5%的标准◈★。这项突破不仅可以为EUV光源提供“中国心脏”摩纳哥vs矿工◈★，更可能引领下一代高能激光技术发展◈★。
早前◈★，清华大学朱煜教授团队研发的磁悬浮双工件台◈★，定位精度高达0.12纳米（相当于头发丝的六十万分之一）◈★，换片速度突破每秒600片◈★，较ASML设备提升20%◈★。而且◈★，这项“光刻机高铁”技术已通过华为海思7纳米芯片试产验证◈★，彻底打破美国应用材料（AMAT）在该领域的专利壁垒◈★。
此外摩纳哥vs矿工◈★，哈工大联合长春光机所开发的基于超构表面（Metasurface）的EUV物镜系统◈★，利用纳米级共振结构实现对极紫外光的多维度调控◈★。相比传统蔡司多层膜反射镜◈★，其光能利用率提升47%摩纳哥vs矿工◈★，且无需复杂的热变形补偿装置摩纳哥vs矿工美高梅官网正网◈★，为国产光刻机小型化◈★、低成本化开辟了新路径◈★。
“这不是单一技术的突破◈★，而是中国高端制造体系的整体跃迁美高梅游戏手机版官网版下载◈★。◈★。”中国半导体行业协会副理事长于燮康指出◈★，EUV攻关带动了超高真空技术◈★、精密温控◈★、极紫外检测等40余个细分领域的跨越式发展◈★。目前美高梅官网正网◈★，上海微电子已建成首条EUV整机组装线◈★，中芯国际北京厂预留的EUV专用车间则将于2025年投产◈★。据芯谋研究预测◈★，国产EUV量产后◈★，中国先进制程芯片产能有望在2030年前实现70%的自给率◈★。
面对中国在EUV光刻机领域的技术突破◈★，ASML（荷兰阿斯麦公司）首席执行官克里斯托弗·富凯紧急调整对华策略美高梅官网正网◈★，宣布近期将扩大中国团队规模◈★，并加快1980Di型号深紫外（DUV）光刻机的交付◈★。而美国商务部则被曝正酝酿新一轮制裁◈★，拟将对华光刻机设备限制范围从10纳米扩展至14纳米美高梅官网正网◈★！◈★。不过◈★，行业分析师普遍认为◈★，随着中国在薄膜沉积◈★、量测设备等配套环节的成熟◈★，美国的技术封锁效应正加速衰减美高梅官网◈★，◈★。
“就像盾构机◈★、高铁的故事重演美高梅官网正网◈★，中国正在创造新的产业定律◈★：凡是西方封锁的◈★，终将被中国做成‘白菜价’◈★。”国际半导体产业协会（SEMI）中国区总裁居龙坦言◈★，全球半导体产业或将迎来“双极时代”◈★，而中国EUV光刻机的横空出世◈★，无疑为这场世纪博弈写下了最富戏剧性的注脚摩纳哥vs矿工◈★。
这场EUV光刻机攻坚战的突破摩纳哥vs矿工◈★，不仅是中国一家企业或一个行业的胜利◈★，更是中国新型举国体制优势的集中展现美高梅官网正网◈★。当300余家科研单位美高梅官网正网◈★、近万名工程师在“光刻机专项”旗帜下协同攻关时◈★，我们看到的◈★，是一个国家向科技无人区进军的决心与智慧◈★。正如林楠研究员在论文致谢中写道◈★：“这是科学共同体的胜利◈★，更是自主创新精神的涅槃重生◈★。”
对于中科院上海光机所林楠团队在EUV光刻机光源这一核心技术的突破◈★，大家怎么看？ 欢迎您在评论区留言◈★，我们一起讨论◈★、一起举杯庆祝与自豪◈★！ 同时◈★，也欢迎大家点赞与转发分享本文◈★，让更多的国人获悉和了解这一喜讯◈★，与我们一起扬眉吐气◈★！
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